一种基于柔性并联机构的2维高频微幅振动器

摘要

本发明公开了一种基于柔性并联机构的2维微振动器，包括4个具有对称放置的微振动支链和微振动平台组成，其中微振动支链由4对正圆型柔性铰链组合、1对直梁型柔性铰链组合、1对直梁结构和2组杆件组成，能产生单一方向的微幅振动；微振动平台由2对梁板结构和振子组成，能传递2个垂直方向的微幅振动。4个微振动支链以架形式对称布置，每一个微振动支链产生一个方向的微幅振动。采用5对柔性铰链、1对直梁结构和2组杆件产生单一方向的微幅振动。采用梁板结构传递由微振动支链产生的振动。采用1对梁板结构对一个方向的振动实现导向功能。所设计的微振动器可用于超精密加工、生物工程、纳米科学与技术等领域。

主权项

一种基于柔性并联机构的微振动器，其特征在于，包括4个具有对称放置的微振动支链和微振动平台组成，所述微振动支链由4对正圆型柔性铰链组合、1对直梁型柔性铰链组合、1对直梁结构和2组杆件组成，能产生单一方向的微幅振动；所述微振动平台由2对梁板结构和振子组成，能传递和导向2个垂直方向的微幅振动。