发明名称 |
GaN基器件肖特基接触可靠性的评价方法 |
摘要 |
本发明公开了一种GaN基器件肖特基接触可靠性的评价方法,包括:采集待测GaN基器件在不同温度下的电流‑电压特性曲线;根据待测GaN基器件在不同温度下的电流‑电压特性曲线,获得待测GaN基器件的串联电阻随温度的变化曲线及其肖特基势垒高度与理想因子之间的关系曲线;采集待测GaN基器件在不同频率下的电容‑电压特性曲线;根据待测GaN基器件在不同频率下的电容‑电压曲线,获得待测GaN基器件的频散关系;根据待测GaN基器件的串联电阻随温度的变化曲线、肖特基势垒高度与理想因子之间的关系曲线以及待测GaN基器件的频散关系,对待测GaN基器件肖特基接触的可靠性进行评价。该评价方法可以对GaN基器件中肖特基的可靠性进行评价。 |
申请公布号 |
CN103728545B |
申请公布日期 |
2017.03.22 |
申请号 |
CN201410005400.1 |
申请日期 |
2014.01.06 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
赵妙;刘新宇;郑英奎;李艳奎;欧阳思华 |
分类号 |
G01R31/26(2014.01)I;G01R31/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/26(2014.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王宝筠 |
主权项 |
一种GaN基器件肖特基接触可靠性的评价方法,所述GaN基器件包括GaN基半导体结构和位于所述GaN基半导体结构表面的金属结构,其特征在于,该方法包括:采集待测GaN基器件在不同温度下的电流‑电压特性曲线;根据所述待测GaN基器件在不同温度下的电流‑电压特性曲线,获得所述待测GaN基器件的串联电阻随温度的变化曲线及其肖特基势垒高度与理想因子之间的关系曲线;采集所述待测GaN基器件在不同频率下的电容‑电压特性曲线;根据所述待测GaN基器件在不同频率下的电容‑电压曲线,获得所述待测GaN基器件的频散关系;根据所述待测GaN基器件的串联电阻随温度的变化曲线、肖特基势垒高度与理想因子之间的关系曲线以及所述待测GaN基器件的频散关系,对所述待测GaN基器件肖特基接触的可靠性进行评价。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |