| 摘要 |
硬質且つ耐摩耗性を有する硬質潤滑被膜および硬質潤滑被膜被覆工具を提供する。（ＣｒａＭｏｂＷｃＶｄＢｅ）１−ｘ−ｙ−ｚＣｘＮｙＯｚの酸炭化物、酸窒化物または酸炭窒化物から成るＡ層２４と、ＷｆＣ（１−ｆ）から成るＢ層２５とが、交互に２層以上積層されて形成されるものであり、Ａ層２４に係る原子比ａないしｅおよびｘ、ｙ、ｚおよびｘ＋ｙ＋ｚは所定の範囲内にあるものであり、Ｂ層２５に係る原子比ｆは０．３≦ｆ≦０．７であり、且つ、Ａ層２４の膜厚Ｄ１は２ｎｍ以上５００ｎｍ以下、Ｂ層２５の膜厚Ｄ２は１ｎｍ以上５００ｎｍ以下、総膜厚Ｄは０．１μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内であるため、硬質且つ耐摩耗性を有する硬質被膜１０およびドリル１２を得ることができる。 |
