| 摘要 |
【課題】レーザ照射によって粒子をイオン化させることができ、かつ、粒子の質量分析を精度良く行うことができる質量分析装置を提供する。【解決手段】本実施形態による質量分析装置は、試料へビームを照射するビーム照射部を備える。レーザ照射部は、試料の表面のうちビームの照射面または該照射面の上方にレーザ光を照射する。レーザ照射部は、レーザ光を少なくとも第１光と第２光とに分離し、第１または第２光の少なくとも一方の偏光状態、光路長または光路方向を調節して第１光および第２光を照射面または該照射面の上方に集光する。検出部は、試料から放出された粒子を検出する。【選択図】図２ |
