摘要 |
【課題】エンジンの気筒内のように、立体装置の内部空間の局所的な領域の温度を、従来技術よりも低コストかつ高精度で計測でき、その結果、立体装置の内部空間の温度を低コストかつ高精度で計測することができる立体装置の温度計測装置等を提供する。【解決手段】計測領域Rmの内部に設定された小計測領域Rmiのそれぞれに対して異なる種類のガス成分Giを供給すると共に、立体装置の内部空間Rに向けて周波数が0.01THz〜10THzの範囲内にある複数の波長のテラヘルツ波Teを送信して、計測領域Rmを通過してくる複数の波長のテラヘルツ波Teを受信して複数の波長のテラヘルツ波Teの強度を検出して、この複数の波長のテラヘルツ波Teの強度の変化量と、予め設定された複数のガス成分Giのそれぞれにおけるテラヘルツ波の各波長での変化特性と比較して、小計測領域Rmiの温度Tmiを算出する。【選択図】図1 |