| 摘要 |
【課題】空間放射照度分布と角度放射照度分布の両方を視野依存方式で調節することができるマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系を提供する。【解決手段】光学インテグレーター６０は各々が２次光源のうちの１つに関連付けられた複数の光入射ファセットを含む。空間光変調器５２は光射出面５７を有し入射投影光を空間分解方式で透過又は反射するように構成される。瞳形成ユニット３６は投影光を空間光変調器上に向けるように構成される。対物系５８は空間光変調器の光射出面５７を光学インテグレーター６０の光入射ファセット上に結像する。制御ユニットは瞳形成ユニット３６及び空間光変調器５２を制御するように構成される。光学光変調器５２の光射出面は光入射ファセット上に結像されない区域によって分離された物体区域グループを含む。対物系５８は物体区域の像が光学インテグレーター上に当接するように組み合わせる。【選択図】図３ |
