摘要 |
【課題】ファイバブラッググレーティング振動センサを提供することに着目し、感度が高く、周波数範囲が広く、3軸方向又はそのいずれかの軸方向の振動を選択的且つ同時に測定する。【解決手段】ファイバブラッググレーティング振動センサ100であって、ベース120と、片持梁200及び片持梁200の軸方向に沿って設置された第1ボス211と第2ボス212を含む振動測定素子141、142、143、及び軸方向に沿って振動測定素子141、142、143にカプセル化され、該振動測定素子141、142、143の振動を検出するのに用いられるファイバブラッググレーティング171、172、173とを含み、振動測定素子141、142、143の第1ボス211側の一端はベース120に固着され、振動測定素子の第2ボス212側の一端は垂れ下がっている。【選択図】図1 |