发明名称 |
感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機EL表示装置 |
摘要 |
基材に対する密着性に優れ、透過率が高く、高耐熱性、および高感度の感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機EL表示装置の提供。(A)一般式(1)で表される繰り返し単位を含むポリベンゾオキサゾール前駆体、(B)発生する酸のpKaが4以下である光酸発生剤、(C)溶剤、および(D)ベンゼン環および/またはフェノール性水酸基と反応する架橋性基を2つ以上有する架橋剤を含有する感光性樹脂組成物。ここで、R1およびR2の少なくとも一方は、酸分解性基である。一般式(1) |
申请公布号 |
JPWO2015087831(A1) |
申请公布日期 |
2017.03.16 |
申请号 |
JP20150552438 |
申请日期 |
2014.12.08 |
申请人 |
富士フイルム株式会社 |
发明人 |
杉原 幸一;安藤 豪;雨宮 拓馬 |
分类号 |
G03F7/039;G02F1/1333;G03F7/004;G03F7/20;H01L51/50;H05B33/22 |
主分类号 |
G03F7/039 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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