发明名称 |
n型拡散層形成用組成物、n型拡散層を有する半導体基板の製造方法及び太陽電池素子の製造方法 |
摘要 |
【課題】半導体基板において、不要なn型拡散層を形成させることなく、特定の部分にn型拡散層を形成することができ、半導体基板の特性の劣化を抑制可能なn型拡散層形成用組成物の提供。【解決手段】ドナー元素を含むガラス粒子と、分散媒と、を含有し、前記ガラス粒子の含有率が5質量%以上50質量%以下の範囲であり、前記ドナー元素を含むガラス粒子が、成分を酸化物で表示したときに、P2O3、P2O5及びSb2O3からなる群より選択される少なくとも1種のドナー元素含有物質と、SiO2、K2O、Na2O、Li2O、BaO、SrO、CaO、MgO、BeO、ZnO、PbO、CdO、V2O5、SnO、ZrO2、及びMoO3からなる群より選択される少なくとも2種のガラス成分物質と、を含有するn型拡散層形成用組成物。【選択図】なし |
申请公布号 |
JP2017054918(A) |
申请公布日期 |
2017.03.16 |
申请号 |
JP20150177582 |
申请日期 |
2015.09.09 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
清水 麻理;野尻 剛;倉田 靖;岩室 光則;織田 明博;佐藤 鉄也;芦沢 寅之助;佐藤 英一 |
分类号 |
H01L21/225;H01L31/068;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L21/225 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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