一种洁净室

摘要

本实用新型公开了一种洁净室，包括洁净区、空气过滤设备、以及空气循环系统，所述洁净室还包括：温度控制系统，用于基于比例积分微分(PID)控制原理，控制所述洁净区的温度在设定温度。

主权项

一种洁净室，包括洁净区、空气过滤设备、空气循环系统、以及温度控制系统，其特征在于，所述温度控制系统包括：温度感应器、加热设备、以及比例积分微分PID控制器；所述比例积分微分PID控制器，控制所述洁净区的温度在设定温度；所述空气过滤设备设置在所述洁净区的一端；所述空气循环系统的一端与所述洁净区的另一端连接；所述空气循环系统的另一端与所述空气过滤设备相通；所述温度感应器和所述加热设备设置在所述空气循环系统中。