| 发明名称 | 一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器 | ||
| 摘要 | 一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器，包括长石墨连接块和两根短石墨连接块，长石墨连接块与两根短石墨连接块之间通过多根石墨加热棒连接，各根石墨加热棒是相互平行排列，长石墨连接块的中部较粗、两端较细；连接在长石墨连接块中部的石墨加热棒电阻值较大，连接在长石墨连接块两端的石墨加热棒电阻值较小，本实用新型可以改善ALD多晶铸锭炉加热器局部过热问题。 | ||
| 申请公布号 | CN206015146U | 申请公布日期 | 2017.03.15 |
| 申请号 | CN201621014699.8 | 申请日期 | 2016.08.31 |
| 申请人 | 宜昌南玻硅材料有限公司 | 发明人 | 李旭敏;程达;周晓康;陈发勤;梁学勤;李宏 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B28/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人 | 成钢 |
| 主权项 | 一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器，包括长石墨连接块（1）和两根短石墨连接块（2），长石墨连接块（1）与两根短石墨连接块（2）之间通过多根石墨加热棒（3）连接，各根石墨加热棒（3）是相互平行排列，其特征在于：长石墨连接块（1）的中部较粗、两端较细；连接在长石墨连接块（1）中部的石墨加热棒（3）电阻值较小，连接在长石墨连接块（1）两端的石墨加热棒（3）电阻值较大。 | ||
| 地址 | 443007 湖北省宜昌市猇亭区南玻路1号 | ||