| 发明名称 | 一种硅片烘烤支架 | ||
| 摘要 | 一种硅片烘烤支架，该支架包括侧板，支撑杆，定位杆；所述两侧板相向布置，在侧板靠近底端对称设置一对支撑孔，一对支撑杆两端分别插入所述支撑孔中，在支撑杆上设置卡口并向内凹陷，支撑孔上方偏离侧板中心位置两边分别设置定位孔，一对定位杆两端分别插入侧板两边的对称定位孔中。通过在侧板上分别设置支撑孔、定位孔，支撑杆、定位杆穿过该支撑孔、定位孔，从而将待烤硅片固定在该支架上，可以依据硅片大小灵活调整定位杆的位置，以适应不同尺寸硅片。 | ||
| 申请公布号 | CN206022322U | 申请公布日期 | 2017.03.15 |
| 申请号 | CN201620923081.7 | 申请日期 | 2016.08.23 |
| 申请人 | 安徽正田能源科技有限公司 | 发明人 | 吕凤岗;程林;曹来福;戴珍旭;胡正田 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 安徽信拓律师事务所 34117 | 代理人 | 张加宽 |
| 主权项 | 一种硅片烘烤支架，其特征在于：该支架包括侧板，支撑杆，定位杆；所述两侧板相向布置，在侧板靠近底端对称设置一对支撑孔，一对支撑杆两端分别插入所述支撑孔中，在支撑杆上设置卡口并向内凹陷，支撑孔上方偏离侧板中心位置两边分别设置定位孔，一对定位杆两端分别插入侧板两边的对称定位孔中。 | ||
| 地址 | 239300 安徽省滁州市天长市经济开发区纬三路128号 | ||