一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置

摘要

本实用新型涉及一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置，包括电流测量显示装置和报警装置，所述电流测量显示装置串联到真空镀膜设备的中频电源的电流回路中，所述电流测量显示装置包括至少一个电流测量显示表及相应电流波动报警设置模块，所述电流波动报警设置模块与所述报警装置电连接。借助于本实用新型，能够直观从电流测量显示表看到真空镀膜设备的中频电源的电流，并且当电流波动超过预先设定的电流波动报警值时，能够发出声光报警，以提醒操作员及时进行处理，避免出现更多残次品。

主权项

一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置，其特征在于：包括电流测量显示装置和报警装置，所述电流测量显示装置串联到真空镀膜设备的中频电源的电流回路中，所述电流测量显示装置包括至少一个电流测量显示表及相应电流波动报警设置输出模块，所述电流波动报警设置输出模块与所述报警装置电连接。