| 发明名称 | 一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层及其制备方法，属于薄膜传感器技术领域。该抗氧化复合防护层自下而上依次为BN绝缘层、ZrB<sub>2</sub>基复合陶瓷层、Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>覆盖层，其中，BN绝缘层、ZrB<sub>2</sub>基复合陶瓷层和Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>覆盖层采用蒸发或溅射等方法依次沉积于薄膜传感器敏感功能层上。本发明高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层，可满足在1000～1700℃高温条件下航空发动机高温薄膜传感器的抗氧化防护需求，有效提高了薄膜传感器在高温高压恶劣环境下的稳定性、可靠性和寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN106498355A | 申请公布日期 | 2017.03.15 |
| 申请号 | CN201610913940.9 | 申请日期 | 2016.10.20 |
| 申请人 | 电子科技大学 | 发明人 | 蒋洪川;王洪敏;赵晓辉;蒋书文;张万里;刘子良;黄敏;肖瑶 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;G01D3/08(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人 | 吴姗霖 |
| 主权项 | 一种高温薄膜传感器用抗氧化复合防护层，包括BN绝缘层、ZrB<sub>2</sub>基复合陶瓷层、Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>覆盖层，其中，BN绝缘层、ZrB<sub>2</sub>基复合陶瓷层和Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>覆盖层采用蒸发或溅射方法依次沉积于薄膜传感器敏感功能层上。 | ||
| 地址 | 611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号 | ||