多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末及其制造和使用方法

摘要

本发明提供能够以低成本制造高光电转换效率的多晶硅锭的多晶硅锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末。本发明提供多晶硅锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末及其制造方法、含有该氮化硅粉末的浆料、以及多晶硅锭铸造用铸模及其制造方法、以及使用该铸模的多晶硅锭的制造方法，其中该多晶硅锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末的比表面积为5～40m²/g，将在粒子表面层存在的氧的含有比例记为FSO(质量％)、将在粒子内部存在的氧的含有比例记为FIO(质量％)、将比表面积记为FS(m²/g)，在此情况下，FS/FSO为8～30，FS/FIO为22以上，粒度分布测定中的10体积％粒径D10与90体积％粒径D90的比率D10/D90为0.05～0.20。

主权项

多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末，其特征在于，比表面积为5～40m²/g，将在粒子表面层存在的氧的含有比例记为FSO质量％、在粒子内部存在的氧的含有比例记为FIO质量％、比表面积记为FS m²/g，在此情况下，FS/FSO为8～30，FS/FIO为22以上，Fe(铁)的含量为10ppm以下，采用激光衍射式粒度分布计的体积基准的粒度分布测定中的10体积％粒径D10与90体积％粒径D90的比率D10/D90为0.05～0.20。