垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法

摘要

本发明公开了一种垂直腔面发射激光器阵列及其制造方法，该垂直腔面发射激光器阵列包括：形成在基板上的接触层；形成在所述接触层上的台面结构，每个台面结构包括第一导电型的第一半导体多层反射镜、在所述第一半导体多层反射镜上的有源区、以及在所述有源区上的第二导电型的第二半导体多层反射镜；形成在所述台面结构周围的接触层上的第一金属层，所述第一金属层的一部分作为第一导电型的电极焊盘；形成在所述第一金属层上的绝缘膜；以及形成在绝缘膜上的第二金属层，所述第二金属层的一部分作为第二导电型的电极焊盘。所述台面结构并联电连接。

主权项

一种垂直腔面发射激光器阵列，其特征在于，包括：形成在基板上的接触层；形成在所述接触层上的多个台面结构，每个台面结构包括第一导电型的第一半导体多层反射镜、所述第一半导体多层反射镜上的有源区、以及所述有源区域上的第二导电型的第二半导体多层反射镜；形成在所述台面结构周围的所述接触层上的第一金属层，所述第一金属层的一部分作为第一导电型的电极焊盘；形成在所述第一金属层上的绝缘膜；以及形成在所述绝缘膜上的第二金属层，所述第二金属层的一部分作为所述第二导电型的电极焊盘，其中，所述台面结构并联电连接。