单晶硅片烘烤专用烤箱

摘要

一种单晶硅片烘烤专用烤箱，包括箱体，所述箱体顶部设置有加热装置，加热装置上端有冷气进口，与冷气进口成对角线位置有热气出口，所述箱体两边分别为进气通道、排气通道，中空隔板将箱体分割成单独的隔层，加热装置下方的热气出口与所述进气通道连通，进气通道与中空隔板连通，在中空隔板下端面设置有出气孔，在隔层底部靠近排气通道处设置排气口，排气口与排气通道连通，排气通道上端为盲端，下端出口与排气装置连接。通过使用经过加热的气体对硅片进行烘烤，使得硅片受热均匀，不会产生裂片，同时气体在隔层内循环可以带走粘附在硅片表面的脏污，保持隔层内的清洁。

主权项

一种单晶硅片烘烤专用烤箱，包括箱体，其特征在于：所述箱体顶部设置有加热装置，加热装置上端有冷气进口，与冷气进口成对角线位置有热气出口，所述箱体两边分别为进气通道、排气通道，中空隔板将箱体分割成单独的隔层，加热装置下方的热气出口与所述进气通道连通，进气通道与中空隔板连通，在中空隔板下端面设置有出气孔，在隔层底部靠近排气通道处设置排气口，排气口与排气通道连通，排气通道上端为盲端，下端出口与排气装置连接。