发明名称 |
用于电化学处理器的接触环 |
摘要 |
电处理设备包括在头部中的转子、和在转子上的接触环组件。接触环组件可具有在环基座上的一个或更多个条的接触指,其中接触指夹紧在环基座上的位置中。所述条可具有间隔开的凸出物开口,其中环基座上的凸出物延伸至凸出物开口中或穿过凸出物开口。遮蔽环可附接于环基座,以夹紧接触指就位,和/或以为接触指的至少部分提供电场遮蔽。接触指可设置为多个邻接的叉形物,其中实质上每一叉形物包括至少两个接触指。 |
申请公布号 |
CN103959445B |
申请公布日期 |
2017.03.15 |
申请号 |
CN201280058197.3 |
申请日期 |
2012.11.14 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
兰迪·A·哈里斯;保罗·R·麦克休;格雷戈里·J·威尔逊 |
分类号 |
H01L21/304(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国;赵静 |
主权项 |
一种电处理设备,所述电处理设备包括:第一头部;在所述第一头部中的转子;在所述转子上的接触环;在所述接触环上的多个间隔开的凸出物;一个或更多个的条,所述条具有接触指,所述接触指夹紧在所述接触环上的位置中,其中所述条具有多个间隔开的凸出物开口,并且其中所述凸出物延伸至所述凸出物开口中或者穿过所述凸出物开口,其中条包括多个邻接的叉形物,其中每一叉形物包括至少两个具有平行侧的接触指;和基座,所述基座包括电解液容器,其中所述第一头部可移动的将所述接触环定位在所述容器中和所述容器外。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |