发明名称 |
一种镀膜箱设备 |
摘要 |
本发明公开了一种镀膜箱设备,包括镀膜箱、自动门机构和自动门驱动机构,所述镀膜箱的前侧开口,镀膜箱的开口侧安装有自动门机构,自动门驱动机构安装在镀膜箱的侧面,自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接。它更加方便地将基板放入真空镀膜箱,且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。 |
申请公布号 |
CN106498346A |
申请公布日期 |
2017.03.15 |
申请号 |
CN201611003940.1 |
申请日期 |
2016.11.15 |
申请人 |
东莞市秦智工业设计有限公司 |
发明人 |
高扬 |
分类号 |
C23C14/22(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/22(2006.01)I |
代理机构 |
北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 |
代理人 |
连平 |
主权项 |
一种镀膜箱设备,包括镀膜箱(1)、自动门机构(2)和自动门驱动机构(3),其特征在于:所述镀膜箱(1)的前侧开口,镀膜箱(1)的开口侧安装有自动门机构(2),自动门驱动机构(3)安装在镀膜箱(1)的右侧壁上,自动门驱动机构(3)与自动门机构(2)之间通过齿轮齿条啮合连接;所述自动门机构(2)包括门板(21)、一对直角滑轨(22)和升降齿条(23),一对直角滑轨(22)分别固定在镀膜箱(1)的左右两侧,门板(21)与直角滑轨(22)活动配合连接,门板(21)的上部铰接在升降齿条(23)上,升降齿条(23)套接在右侧的直角滑轨(22)上;所述自动门驱动机构(3)包括升降驱动齿轮(31),升降驱动齿轮(31)的内部中空部分固定有齿圈(32),齿圈(32)与传动齿轮(33)啮合,传动齿轮(33)固定在连接轴(34)的一端,连接轴(34)的另一端固定有第二传动齿轮(35)并铰接在驱动机构支架(39)的延伸臂(391)上,第二传动齿轮(35)与驱动齿轮(36)啮合,驱动齿轮(36)的下端设有弹性导向装置(37),驱动齿轮(36)的上端圆柱凸起(361)套接在延伸臂(391)的通孔(3911)内,驱动手柄(38)穿过通孔(3911)固定在圆柱凸起(361)上;驱动手柄(38)的传动臂(381)套接在驱动机构支架(39)的通槽(392)上,驱动机构支架(39)固定在镀膜箱(1)的右侧;所述升降驱动齿轮(31)铰接在镀膜箱(1)的右侧壁上,升降齿条(23)与升降驱动齿轮(31)啮合。 |
地址 |
523000 广东省东莞市东城区光明大道27号千栩大厦436室 |