| 发明名称 | 元件制造方法以及元件制造装置 | ||
| 摘要 | 提供元件制造方法以及元件制造装置，高效率地制造元件。首先，准备包含基材(41)以及沿基材(41)的法线方向延伸的突起部(44)的中间制品(50)。接着，在调整为真空环境的层叠室(20a)中将盖材(25)从突起部(44)侧连续层叠到中间制品(50)上形成层叠体(51)。此后，将层叠体(51)从层叠室(20a)向调整为比真空环境压力高的第1压力的第1压力室(21a)输送。接着，将层叠体(51)从第1压力室(21a)向调整为真空环境的分离室(22a)输送，将层叠体(51)分离为中间制品(50)以及盖材(25)。在通过与输送层叠体(51)的方向垂直的面将层叠体(51)假想地截断的情况下的层叠体(51)的截面上，中间制品(50)与盖材(25)之间的空间从周围密闭。 | ||
| 申请公布号 | CN105027676B | 申请公布日期 | 2017.03.08 |
| 申请号 | CN201480011841.0 | 申请日期 | 2014.03.28 |
| 申请人 | 大日本印刷株式会社 | 发明人 | 二连木隆佳;武田利彦;中岛宏佳 |
| 分类号 | H05B33/10(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/02(2006.01)I;H05B33/12(2006.01)I;H05B33/22(2006.01)I;H05B33/26(2006.01)I | 主分类号 | H05B33/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;黄纶伟 |
| 主权项 | 一种元件制造方法，用于在连续延伸的基材上形成元件，其特征在于，该元件制造方法具备：准备包含所述基材以及沿所述基材的法线方向延伸的突起部的中间制品的工序；层叠工序，在被调整为真空环境的层叠室中，使盖材从所述突起部侧连续地层叠到所述中间制品上而形成层叠体；将所述层叠体从所述层叠室向第1压力室输送的工序，该第1压力室与所述层叠室连结，并且被调整为比真空环境的压力高的第1压力；将所述层叠体从所述第1压力室向分离室输送的工序，该分离室与所述第1压力室连结，并且被调整为真空环境；以及分离工序，在所述分离室中，将所述层叠体分离为所述中间制品以及所述盖材，在通过与输送所述层叠体的方向垂直的面将所述层叠体假想地截断的情况下的层叠体的截面上，所述中间制品与所述盖材之间的空间从周围密闭。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||