发明名称 |
一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法 |
摘要 |
本发明公开了一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法,使主加热器与电极之间以直接嵌入的方式连接。将主加热器和电极的接触面均加工成直壁状,其中主加热器的接触面的一侧上部加工出斜面结构,电极内表面中相应侧面的上部也加工出斜面结构,二者组装后,利用主加热器自身重力,主加热器的外表面与电极内表面严密贴合。提高直拉单晶生产中主加热器的安装效率和结构稳定性。本发明的方法中主加热器与电极连接、拆卸简便高效,发热器件结构更加稳定,不易打火。 |
申请公布号 |
CN106480497A |
申请公布日期 |
2017.03.08 |
申请号 |
CN201510530605.6 |
申请日期 |
2015.08.26 |
申请人 |
有研半导体材料有限公司 |
发明人 |
常麟;刘大力;赵银光;黄龙辉;朱秦发;孙媛 |
分类号 |
C30B15/14(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
代理人 |
刘秀青 |
主权项 |
一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法,其特征在于,使主加热器与电极之间以直接嵌入的方式连接。 |
地址 |
101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧 |