发明名称 一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法
摘要 本发明公开了一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法,使主加热器与电极之间以直接嵌入的方式连接。将主加热器和电极的接触面均加工成直壁状,其中主加热器的接触面的一侧上部加工出斜面结构,电极内表面中相应侧面的上部也加工出斜面结构,二者组装后,利用主加热器自身重力,主加热器的外表面与电极内表面严密贴合。提高直拉单晶生产中主加热器的安装效率和结构稳定性。本发明的方法中主加热器与电极连接、拆卸简便高效,发热器件结构更加稳定,不易打火。
申请公布号 CN106480497A 申请公布日期 2017.03.08
申请号 CN201510530605.6 申请日期 2015.08.26
申请人 有研半导体材料有限公司 发明人 常麟;刘大力;赵银光;黄龙辉;朱秦发;孙媛
分类号 C30B15/14(2006.01)I 主分类号 C30B15/14(2006.01)I
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人 刘秀青
主权项 一种直拉单晶生产中主加热器的安装方法,其特征在于,使主加热器与电极之间以直接嵌入的方式连接。
地址 101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧
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