角加速度传感器

摘要

本发明的角加速度传感器(10)具有平板面，并包括固定部(12)、锤部(13)、以及梁部(14)。锤部(13)具有在平板面上向X轴负方向凹陷的凹部(13A)。固定部(12)具有：在平板面上向X轴负方向突出并与凹部(13A)相对的凸部(12A)；以及从与凸部(12A)相邻的位置向X轴正方向凹陷的槽(18)。梁部(14)在平板面上沿着Y轴延伸，连接在凹部(13A)与凸部(12A)之间，并将锤部(13)可移动地支承于固定部(12)。

主权项

一种角加速度传感器，其特征在于，具有平板面，并包括：锤部，该锤部具有在所述平板面上向第一方向凹陷的凹部；固定部，该固定部具有在所述平板面上向所述第一方向突出并与所述凹部相对的凸部；梁部，该梁部在所述平板面上从所述凸部向与所述第一方向正交的第二方向延伸，并在所述第二方向侧的端部上与所述凹部相连；以及检测部，该检测部对所述梁部上产生的应力进行检测，所述固定部上凹陷有槽，该槽在所述平板面上从与所述凸部相邻的位置沿着与所述第二方向相交的方向延伸。