一种硅片脱胶用传输机械装置

摘要

本实用新型涉及机械领域，尤其涉及一种硅片脱胶用传输机械装置。包含承载板，所述承载板上包含两组动臂结构，所述动臂结构包含固定在承载板上的气缸，气缸伸出气缸轴连接边轴，边轴包含两组且分别位于承载板的两侧，边轴能够被气缸轴推动着前进，边轴边侧固定有挂钩臂，挂钩臂下方为挂钩。有益效果：导轨对于气缸和连杆的运动进行导向，挂钩整体固定在连杆两端，做挂钩和脱钩动作，可带动料篮在不同工艺槽之间运动，对硅片进行脱胶，霍尔传感器对挂钩和脱钩位置进行检测并报警。

主权项

一种硅片脱胶用传输机械装置，其特征在于，包含承载板，所述承载板上包含两组动臂结构，所述动臂结构包含固定在承载板上的气缸，气缸伸出气缸轴连接边轴，边轴包含两组且分别位于承载板的两侧，边轴能够被气缸轴推动着前进，边轴边侧固定有挂钩臂，挂钩臂下方为挂钩。