| 发明名称 | 多层封装薄膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种多层封装薄膜和用于制备多层封装薄膜的方法和装置。所述多层封装薄膜包含含有金属氧化物的无机薄膜和含有聚合物的在所述有机薄膜上形成的有机薄膜，其中，所述无机薄膜和所述有机薄膜以多层结构形式交替堆叠。 | ||
| 申请公布号 | CN106486601A | 申请公布日期 | 2017.03.08 |
| 申请号 | CN201610807905.9 | 申请日期 | 2014.04.24 |
| 申请人 | 成均馆大学校产学协力团;三星显示有限公司 | 发明人 | 赵成珉;郑昊均;蔡熙烨;徐祥准;徐昇旴 |
| 分类号 | H01L51/44(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 樊英如;李献忠 |
| 主权项 | 一种制造多层封装薄膜的装置，所述装置包括：基底装载单元，基底装载在所述基底装载单元上；在所述基底上沉积无机薄膜的无机薄膜沉积单元；以及在所述无机薄膜上沉积有机薄膜的有机薄膜沉积单元，其中，所述无机薄膜沉积单元和所述有机薄膜沉积单元按顺序彼此连接，所述基底装载单元交替移至所述无机薄膜沉积单元和所述有机薄膜沉积单元，从而使所述无机薄膜和所述有机薄膜交替沉积在所述基底上。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||