图案描绘装置、图案描绘方法、器件制造方法、激光光源装置、光束扫描装置及方法

摘要

一种图案描绘装置，通过激光的扫描点在被照射体上描绘出规定的图案，具备：光源装置(14)，其射出上述激光；多个描绘单元(U1～U6)，其用于入射上述激光来生成上述扫描点，包含用上述激光进行扫描的光扫描部件和光学透镜系统，并设置成使上述扫描点在上述被照射体上的不同区域进行扫描；和多个选择用光学元件(50、58、66)，其为了对是否使来自上述光源装置的上述激光向上述多个描绘单元中的被选择的上述描绘单元入射进行切换，而沿着来自上述光源装置的上述激光的行进方向直列地配置。

主权项

一种图案描绘装置，通过激光的扫描点在被照射体上描绘出规定的图案，其特征在于，具备：光源装置，其射出所述激光；多个描绘单元，其用于入射所述激光来生成所述扫描点，包含用所述激光进行扫描的光扫描部件和光学透镜系统，并设置成使所述扫描点在所述被照射体上的不同区域进行扫描；和多个选择用光学元件，其用于对是否使来自所述光源装置的所述激光向所述多个描绘单元中的被选择的所述描绘单元入射进行切换，沿着来自所述光源装置的所述激光的行进方向直列地配置。