形状測定方法および形状測定装置

摘要

従来技術とは異なるアプローチで、計算時間を抑えつつ精度良く測定対象物の形状を測定できる形状測定方法及び形状測定装置を提供する。異なる検出窓で複数のサンプリングを５点以上で行うことで、未知数が５つの系の波形フィッティングを行える。又、最小自乗法を用いて波形フィッティングを行うので、計算時間を短縮できる。