シリコンターゲット構造体の製造方法およびシリコンターゲット構造体

摘要

本発明のシリコンターゲット構造体の製造方法では、シリコンターゲットの接合面にＡｇ膜を形成し、前記Ａｇ膜と銅バッキングプレートの間にインジウムはんだを介在させて前記シリコンターゲットを前記銅バッキングプレートと一体にし、前記インジウムはんだを加熱溶融して前記シリコンターゲットを前記銅バッキングプレートに接合することによって、前記シリコンターゲットが前記銅バッキングプレートに一体に接合された構造体を製造する。