| 摘要 |
【課題】形状計測のサイクルタイムの短縮化を図る。【解決手段】ステージ装置１０３は、ステージユニット１２０とＺステージ１２５とを有する。ステージユニット１２０は、θｚ回転ステージ１２２とθｙ回転ステージ１２４とを有する。θｙ回転ステージ１２４は、回転中心軸１２４Ｃまわりに回転して、光軸１０１Ｃに対して被検物Ｗを傾斜可能に構成されている。θｚ回転ステージ１２２は、θｙ回転ステージ１２４により傾斜され、各円上部分領域に光が照射されるよう非球面軸ＷＣまわりに被検物Ｗを回転させる。Ｚステージ１２５は、シャックハルトマンセンサの共役面上に部分領域が移動するよう、ステージユニット１２０を光軸１０１Ｃと平行な方向に直動させる。ステージユニット１２０は、円Ｃ２２上の点において被検面ＷＡに対し垂直な法線ＷＮと非球面軸ＷＣとの交点ＷＩと、回転中心軸１２４Ｃとが一致するよう構成されている。【選択図】図３ |
