Optische Positionsmesseinrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung. Diese umfasst zum einen eine Maßverkörperung, die sich entlang einer Messrichtung erstreckt und eine Inkrementalteilung sowie eine Absolutcodierung aufweist. Zum anderen ist eine Abtasteinheit vorgesehen, die gegenüber der Maßverkörperung entlang der Messrichtung relativ beweglich angeordnet ist und eine Lichtquelle, ein Abtastgitter für die optische Abtastung der Inkrementalteilung sowie eine Detektoreinrichtung aufweist. Die Detektoreinrichtung umfasst einen Inkremental-Detektor zur Erzeugung von Inkrementalsignalen aus der optischen Abtastung der Inkrementalteilung sowie einen Absolut-Detektor zur Erzeugung von Absolutsignalen aus der optischen Abtastung der Absolutcodierung; der Inkremental-Detektor und der Absolut-Detektor sind in einer gemeinsamen Detektionsebene angeordnet. Die Detektionsebene weist einen definierten Normalen-Abstand vom Abtastgitter auf und/oder die Periodizität eines Streifenmusters auf dem Inkremental-Detektor ist derart gewählt, so dass im Fall einer streuenden Verschmutzung im Bereich der Maßverkörperung und/oder des Abtastgitters die Amplituden der Inkrementalsignale und der Absolutsignale gleichmäßig einbrechen.