| 摘要 |
【課題】複数の取付ポートを占有することなく、エネルギー分解能が高い検出と計数効率が高い検出とを実現可能なＸ線分析装置を提供する。【解決手段】Ｘ線分析装置１０は、電子銃１４と、Ｘ線光学部材３０と、第１検出部および第２検出部と、距離変更機構４２と、を備える。Ｘ線光学部材３０は、試料１１から放出される特性Ｘ線１３を第１検出部および第２検出部の少なくとも何れかに導く。第１検出部は、第２検出部に比べて、相対的に計数効率よりもエネルギー分解能を優先させるように形成されている。第２検出部は、第１検出部に比べて、相対的にエネルギー分解能よりも計数効率を優先させるように形成されている。距離変更機構４２は、Ｘ線光学部材３０の光軸の軸方向における第１検出部および第２検出部とＸ線光学部材３０との間の距離を変更する。【選択図】図１ |
