基板处理装置和液晶显示面板制造装置

摘要

本发明包括支承基板(1)的棒状的基板支承部件(2)，基板支承部件(2)包括至少在与基板(1)接触的部分形成有凹凸的静电抑制部(21)。

主权项

一种基板处理装置，其包括用外周面来支承基板的棒状的基板支承部件和保持所述基板支承部件的保持架，对所述基板实施规定的处理，该基板处理装置的特征在于：所述基板支承部件由石英形成，并且由所述保持架保持为不发生旋转和滑动，所述基板支承部件包括至少在与所述基板接触的部分形成有表面粗糙度为0.8μm～1.2μm的凹凸的静电抑制部，在包括所述静电抑制部的所述基板支承部件的外周面，在所述基板支承部件的长度方向上排列形成有多个在所述基板支承部件的周方向上连续形成的凹槽。