光デバイス

摘要

光通信等の波長帯域において、優れた光学特性を示す光導波路や光フィルター等の光デバイスを提供する。光デバイスを、インジウム、ガリウム及び亜鉛を含むアモルファス酸化物で構成する。本発明の光デバイスを構成するＩｎＧａＺｎＯ系アモルファス酸化物は、波長４８０ｎｍ乃至１７００ｎｍにおける屈折率が１．６以上２．１以下で消衰係数が１×１０−２３以上１×１０−４未満の光学特性を有する。また、ＩｎＧａＺｎＯ系アモルファス酸化物により傾斜角が８７度以上９０度以下である断面構造の光導波路を実現する。