| 摘要 |
【課題】測定対象物への過度な露光によるダメージを簡素な構成で回避しつつ、測定時間の増加や測定領域の縮小を伴わずに広い測定領域を実現可能な、光計測装置を提供する。【解決手段】光源１５０１、光源から出射された光を信号光と参照光に分岐する光分岐部、信号光を測定対象に集光して照射する対物レンズ１５０６、信号光の集光位置を走査する走査部、周辺部の透過率が中心部に対し小さい光学部材、測定対象によって反射もしくは散乱された信号光と参照光とを合波し干渉光を生成する干渉光学系１５２１、干渉光を検出する光検出器１５２２，１５２３を備える。【選択図】図１５ |
