| 摘要 |
本発明は、基板周縁を支持するスロットを上下方向に複数備えた基板収容器の検査方法を提供する。この検査方法は、載置台に前記基板収容器を載置する載置工程と、基板が挿入されている計測対象スロットに隣接する空きスロットの空間へ、センサを第１アーム機構によって水平に移動させ、前記基板の位置を計測する計測工程と、第２アーム機構によって、前記計測対象スロットから前記基板を抜き取り、他の前記スロットへ前記基板を入れ替える入替工程と、を備え、複数のスロットについて前記計測が完了するまで、前記計測工程と前記入替工程とを反復する。 |
