| 摘要 |
ダイシング時に給電ラインが圧電基板から剥がれることを抑制し、密閉空間の密閉性低下を抑制することができる弾性表面波デバイス及びその製造方法を提供する。圧電基板の主面１１ａに、弾性表面波素子パターンと、パッドと、パッドに電気的に接続され主面１１ａの外周縁１１ｘまで延在する給電ライン１８ｊとを含む導電パターンが形成されている。主面１１ａの外周縁１１ｘに沿って、外周縁１１ｘとの間に間隔を設けて枠状に形成された枠部３２と、パッド上に形成されたパッド隣接部とを含む支持層を介して、圧電基板とカバーとが接合され、圧電基板、カバー及び枠部３２で囲まれた密閉空間が形成される。支持層は、枠部３２のうちパッド隣接部から離れている独立部分が給電ライン１８ｊと交差する交差部分３２ｘの近傍において、給電ライン１８ｊと交差する補強部３６を、さらに含む。 |
