酸化装置

摘要

ウェハの温度分布のバラツキをなくし、均一に酸化を進行させることが可能な酸化装置を提供する。本発明に係る酸化装置は、内部を気密にすることが可能なチャンバ１と、チャンバ１の内部にて、酸化対象となるウェハ１０を載置するステージ２と、酸化ガスをチャンバ１内へ供給する酸化ガス供給部２０とを備える。酸化ガスは真空雰囲気中で加熱することにより気化した水蒸気ガスであり、酸化ガス供給部２０は、水蒸気ガスを、内部を真空雰囲気としたチャンバ２内へ流量制御して供給する。