| 摘要 |
複合基板１０は、圧電基板１２と支持基板１４とがイオンビームを用いた直接接合により接合されたものである。圧電基板１２は、一方の面が分極マイナス面１２ａ、もう一方の面が分極プラス面１２ｂである。強酸によるエッチングのレートは、分極プラス面１２ｂよりも分極マイナス面１２ａの方が大きい。圧電基板１２は、分極プラス面１２ｂで支持基板１４と直接接合されており、分極プラス面１２ｂが表面に現れている。また、圧電基板１２の分極マイナス面１２ａは、強酸によってエッチングされたものである。支持基板１４は、圧電基板１２の分極マイナス面１２ａよりも強酸によるエッチングのレートが大きな材質で作製されている。 |
