レーザ加工装置及びレーザ加工方法

摘要

【課題】プラズマ圧力の閉じ込めが不十分になることを抑制できるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供する。【解決手段】被処理部材に照射するレーザ光を発振するためのレーザ発振器と、前記レーザ光を集光して前記被処理部材に導くボールレンズと、前記ボールレンズにより押圧されて当該ボールレンズと前記被処理部材との間に配される媒体を保持する媒体保持機構と、を具備している。【選択図】図１