太陽光発電モジュール

摘要

【課題】 発電効率の高い金属シリサイド層を有する太陽光発電モジュールを提供する。【解決手段】 発電層として多結晶金属シリサイド層を具備する太陽光発電モジュールにおいて、多結晶金属シリサイド層の平均結晶粒径Ａ（μｍ）と膜厚Ｂ（μｍ）の関係がＡ≧Ｂを満たすと共に、多結晶金属シリサイド層に設けたれた電極層との間の一部または全部に厚さ１０ｎｍ以下の拡散防止層が設けられていることを特徴とする。また、拡散防止層は５ｎｍ以下であることが好ましい。【選択図】 図１