摘要 |
規則性のある縞模様、白黒比が1:1の余弦波または矩形波模様を利用してモアレ縞を発生させ、そのモアレ縞の位相情報を解析して変形前後のモアレ縞の位相差分布を算出することで微小変位分布を計測できるサンプリングモアレ法の従前の手法は、ナノマイクロ材料や大型構造物には不向きであり、また、2周期以上の任意の繰り返しのある規則性模様に適用した場合、従来の解析方法では大きな誤差が発生するという問題点があった。本発明は、物体表面に人工的に作製された、または物体表面に予め存在している1次元または2次元の繰り返しを有する任意の規則性模様を利用して発生させたモアレ縞の高次周波数または複数の周波数成分における位相情報を利用することでその欠点を改善し、測定精度の向上および測定し得るスケール限界を飛躍的に高めることに成功した。 |