| 摘要 |
【課題】 ポリカーボネートに対して金属薄膜を成膜する場合において、金属薄膜の剥離を防止し、また、その他の樹脂に金属薄膜を成膜する場合に、金属の反射率を向上させることが可能な成膜装置および成膜方法を提供する。【解決手段】 ワークＷの樹脂成型機６３におけるワーク導入部６２から成膜チャンバー１０への搬送が、樹脂成型機６３から搬出された成型後のワークＷの表面に水分が付着しないだけの、６０秒以内という短時間の間に完了される。これにより、ポリカーボネート製のワークＷの表面で成膜中に加水分解が生じることを防止し、スパッタリングにより成膜された金属薄膜が剥離するという現象を防止することが可能となる。また、樹脂基材への水分付着の低減により、Ａｌの酸化を防ぎ、良好な反射率を得ることが可能である。【選択図】 図１ |
