| 摘要 |
従来構造では２重の冷却タンクの間を真空断熱し、内側容器に接続した高熱伝導率材を通して冷却部を冷却していた。このような構造では、高熱伝導率材や冷却部への浸入熱に因る影響もあるが、例えば、冷媒に液体窒素を使用した場合で−１２０℃に到達するまで約３０分かかっていた。時間をかけた場合でも−１５０℃前後までの到達温度であり、液体窒素温度の−１９６℃に遠く及ばなかった。そこで、本発明に係るアンチコンタミネーショントラップおよび真空応用装置にあっては、真空応用装置で装置内冷却部（５）を冷却する構造であって、冷却部（５）を冷却する冷媒（２）を入れる冷却タンク（１）と前記冷却タンク（１）から冷却部（５）近傍まで冷却パイプ（７）を有し、冷却部（５）先端まで冷媒（２）が供給されることを特徴とする。さらに、冷却パイプ内気泡（１０）を逃すためのチューブ（８）を冷却部（５）まで挿入することを特徴とする。 |
