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发明名称 HUBTISCH UND TRANSPORTVERFAHREN.
摘要
申请公布号 DE59000868(D1) 申请公布日期 1993.03.25
申请号 DE19905000868 申请日期 1990.04.11
申请人 BALZERS AG, BALZERS, LI 发明人 WAGNER, RUDOLF, CH-9476 FONTNAS, CH;HIRSCHER, DR., HANS, CH-7310 BAD RAGAZ, CH
分类号 B65G49/06;H01L21/00;(IPC1-7):B65G49/06 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
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