发明名称 樹脂組成物、レジストパターン形成方法及び重合体
摘要 本発明は、下記式(1)で表される基を含む構造単位を有する第1重合体、及び溶媒を含有する樹脂組成物である。式(1)中、R1〜R4は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。但し、R1〜R4のうちの少なくとも1つは、フッ素原子又はフッ素原子を含むである。R5は、置換又は非置換の炭素数1〜7の3価の鎖状炭化水素基である。*は上記構造単位の他の部分に結合する部位を示す。上記構造単位は、下記式(2−1)〜(2−3)のいずれかで表されることが好ましい。式(2−1)〜(2−3)中、Zは下記式(1)で表される基である。
申请公布号 JPWO2015037520(A1) 申请公布日期 2017.03.02
申请号 JP20150536553 申请日期 2014.09.04
申请人 JSR株式会社 发明人 生井 準人
分类号 C08L33/04;C08L23/02 主分类号 C08L33/04
代理机构 代理人
主权项
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