| 摘要 |
【課題】走査範囲が広いレーザ加工装置を得る。【解決手段】レーザ加工装置は、第１レーザ光を第１方向に走査させるガルバノミラーを回転するモータを有する第１ガルバノスキャナと、第２レーザ光を第１方向とは異なる第２方向に走査させるガルバノミラーを回転するモータを有する第２ガルバノスキャナと、第１レーザ光を透過し第２レーザ光を反射して、第１，第２レーザ光を混合する偏光手段と、偏光手段から出力される第１，第２レーザ光を第３方向に走査させるガルバノミラーを回転するモータを有する第３ガルバノスキャナと、第３ガルバノスキャナに偏向された第１，第２レーザ光を第３方向とは異なる第４方向に走査させるガルバノミラーを回転するモータを有する第４ガルバノスキャナと、第１，第２レーザ光を被加工物に集光するｆθレンズを備え、第１，第３ガルバノスキャナのガルバノミラーはモータに対して同じ方向に設けられ偏光手段を挟む。【選択図】図１ |
