发明名称 一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法
摘要 本发明公开了一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法,其步骤如下:步骤1,制备钨镀膜液;步骤2,得到二氧化钛镀膜液;步骤3,制备改性液;步骤4,将基底材料浸泡至钨镀膜液中,搅拌均匀后,在烘箱内烘干,得到钨膜;步骤5,将钨膜浸泡至二氧化钛镀膜液中,然后快速冷却,形成纳米二氧化钛前驱薄膜;步骤6,将步骤5中的薄膜基底材料进行高温烧结,形成纳米二氧化钛‑氧化钨薄膜;步骤7,将步骤6的薄膜浸泡至步骤3中乙醇水溶液中,多次微沸蒸煮,捞出后,快速固化;步骤8,步骤7中的薄膜材料退火处理得到产品。本发明制备方法简单,解决了钛化和氧化钨薄膜材料的平整度和均匀性低、缺陷大、粗糙度高等问题。
申请公布号 CN106469645A 申请公布日期 2017.03.01
申请号 CN201610821665.8 申请日期 2016.09.14
申请人 绍兴文理学院 发明人 刘士彦;张依;姚博
分类号 H01L21/02(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 代理人 李静
主权项 一种有机超晶格锐钛型钛化氧化钨薄膜红外光敏材料的制备方法,其步骤如下:步骤1,将钨酸铵、氯化钨放入至碱性溶液中,加入纳米发泡剂,形成钨镀膜液;步骤2,将钛酸正丁酯、稳定剂、溶剂、酸化剂和渗透剂放入搅拌釜中,搅拌均匀即可得到二氧化钛镀膜液;步骤3,将无机改性剂与有机金属改性剂作为材料,浸泡至乙醇水溶液,得到改性液;步骤4,将基底材料浸泡至钨镀膜液中,搅拌均匀后,在烘箱内烘干,得到钨膜;步骤5,将钨膜浸泡至二氧化钛镀膜液中,然后快速冷却,形成纳米二氧化钛前驱薄膜;步骤6,将步骤5中的薄膜基底材料进行高温烧结,形成纳米二氧化钛‑氧化钨薄膜;步骤7,将步骤6的薄膜浸泡至步骤3中乙醇水溶液中,多次微沸蒸煮,捞出后,快速固化;步骤8,步骤7中的薄膜材料退火处理得到产品。
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