发明名称 |
一种光探测植入式传感器及其制作方法及其控制系统 |
摘要 |
本发明公开了一种光探测植入式传感器及其制作方法及其控制系统,所述传感器包括:发光器件,所述发光器件用于向人体组织内发射设定强度的探测光线;感光器件,所述感光器件用于获取经过人体组织反射后的探测光线的光强信息;其中,所述发光器件与所述感光器件形成在同一衬底的正面。所述传感器的发光器件与感光器件采用同一衬底制备,提高了传感器的集成度,降低了体积。本申请所述制作方法能够制备所述传感器,制作工艺简单,所述控制系统采用所述传感器,控制方法简单,植入创伤小。 |
申请公布号 |
CN104600149B |
申请公布日期 |
2017.03.01 |
申请号 |
CN201510043471.5 |
申请日期 |
2015.01.28 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
胡启方;徐小宇;陈岚;任卓翔 |
分类号 |
H01L31/173(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;A61B5/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/173(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王宝筠 |
主权项 |
一种光探测植入式传感器,其特征在于,所述传感器用于植入人体组织内,所述传感器包括:发光器件,所述发光器件用于向人体组织内发射设定强度的探测光线;感光器件,所述感光器件用于获取经过人体组织反射后的探测光线的光强信息;其中,所述传感器的发光器件以及感光器件采用同一衬底制备,所述发光器件与所述感光器件形成在所述同一衬底的正面;所述衬底为蓝宝石衬底;所述发光器件为背发光LED,所述背发光LED发射的探测光线穿过所述蓝宝石衬底,通过所述蓝宝石衬底的背面出射;并且,所述发光器件与所述感光器件倒装焊互联。 |
地址 |
100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所 |