丙烯酸类单体、聚合物和包含该聚合物的抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供了由下面化学式(1)表示的丙烯酸类单体，含有源自所述丙烯酸类单体的重复单元的用于抗蚀剂添加剂的聚合物，以及包含所述聚合物的抗蚀剂组合物，所述丙烯酸类单体可用作形成抗蚀剂添加剂用单体，其在形成抗蚀剂图案时，在显影前显示出高疏水性，由此将水与抗蚀剂分离开，并防止作为抗蚀剂中组成材料的低分子量物质、亲水性添加剂等被洗脱入水中，而在显影后转化为亲水性，从而能够减少显影后的图案缺陷：[化学式1]在化学式(1)中，R表示氢原子或含有1至8个碳原子的烷基；X表示支链或环状烃基，该支链或环状烃基含有3至30个碳原子，并含有由下面化学式(2)表示的官能团和至少一种由下面化学式(3)表示的官能团：[化学式2][化学式3]在化学式(2)和(3)中，Y表示含有氟原子的碱不稳定基团；Z表示不含氟原子的碱不稳定基团。

主权项

一种丙烯酸类单体，其具有由下面化学式(1)表示的结构：[化学式1]其中，在化学式(1)中，R表示氢原子或含有1至8个碳原子的烷基；X表示包含由下面化学式(2)表示的官能团和至少一种由下面化学式(3)表示的官能团的金刚烷基：[化学式2][化学式3]其中，在化学式(2)和化学式(3)中，Y选自三氟乙酰基、五氟乙基羰基和七氟丙基羰基中；Z选自三氯乙酰基、苯基羰基、甲氧羰基和叔丁基羰基中。