分断方法及分断装置

摘要

本发明是有关于一种分断方法及分断装置。本发明的课题在于有效率地对积层板进行分断。其解决手段为：在第1基板11的第1面11a，形成具有未到达第1基板11的外周缘11e的两端端部11d的第1刻划沟槽11c。此外，在第2基板12的第1面12a形成第2刻划沟槽12c。在形成有第1及第2刻划沟槽11c、12c之后，从第1基板11的第1面11a对贴合基板10进行按压，沿着第2刻划沟槽12c对第2基板12进行分断。接着，从第2基板12的第1面12a对贴合基板10进行按压，沿着第1刻划沟槽11c对第1基板11进行分断。

主权项

一种分断方法，是对具有以各第1面朝向外侧的方式积层的第1基板及第2基板的积层板进行分断，其特征在于，包含以下步骤：(a)在该第1基板的该第1面，形成具有未到达该第1基板的外周缘的至少一端的第1刻划沟槽的步骤；(b)在该第2基板的该第1面，形成第2刻划沟槽的步骤；(c)在该步骤(a)及(b)的执行后，从该第1基板的该第1面对该积层板进行按压并以该第2刻划沟槽为中心使该积层板挠曲，借此对该第2基板沿着该第2刻划沟槽进行分断的步骤；(d)在该步骤(c)的执行后，从该第2基板的该第1面对该积层板进行按压并以该第1刻划沟槽为中心使该积层板挠曲，借此对该第1基板沿着该第1刻划沟槽进行分断的步骤。