抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法

摘要

本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法，更详细地说，涉及如下的抗蚀剂剥离液组合物，该抗蚀剂剥离液组合物通过包含有机胺化合物、化学式1所表示的酰胺和在苯环具有酸性取代基的苯并三唑系防腐蚀剂，从而显示出优异的剥离能力，与此同时，能够使对下部金属配线、绝缘膜的腐蚀最小化，并且经时稳定性优异，能够从根本上抑制自身反应导致的抗蚀剂剥离能力下降、副产物生成等问题。

主权项

一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含有机胺化合物、下述化学式1所表示的酰胺和在苯环具有酸性取代基的苯并三唑系防腐蚀剂：化学式1式中，R₁和R₂各自独立地为甲基或乙基。